- Bạn vui lòng tham khảo Thỏa Thuận Sử Dụng của Thư Viện Số
Tài liệu Thư viện số
Danh mục TaiLieu.VN
Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng
Bài viết này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cảm biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp suất, cảm biến sinh học,...
9 p epu 27/09/2021 9 1
Từ khóa: Vi cơ điện tử, Vi chế tạo, Linh kiện MEMS, Cảm biến gia tốc, Cảm biến góc, Cảm biến áp suất
Đăng nhập
Bộ sưu tập nổi bật