Nghiên cứu ảnh hưởng của công suất phún xạ đến tính chất của màng TiN chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

Trong nghiên cứu này, các mẫu màng TiN sẽ được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron. Trong đó, ảnh hưởng của công suất phún xạ tới tổ chức và tính chất của màng được nghiên cứu gồm: cấu trúc pha, hình thái học bề mặt - mặt cắt ngang, độ cứng và hệ số ma sát.

Từ khóa: Kỹ thuật vật liệu, Vật liệu cấy ghép, Phún xạ magnetron dòng một chiều, Công suất phún xạ, Mẫu màng TiN